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美國E+E氣敏傳感器的制備
氣敏傳感器是一種檢測特定氣體的傳感器。它主要包括半導體氣敏傳感器、接觸燃燒式氣敏傳感器和電化學氣敏傳感器等，其中用的zui多的是半導體氣敏傳感器。半導體電阻型氣敏傳感器是通過金屬氧化物納米結構吸附并離子化氧氣分子，通過氧化還原反應過程實現(xiàn)目標分子的檢測。通常離子化的過程在200~400℃的工作溫度下進行。

美國E+E氣敏傳感器的制備
面向能耗低、恢復快的微納結構傳感器的制備與特性研究，如何降低金屬氧化物的氣敏傳感器的工作溫度成為近年的重要研究目標。然而金屬氧化物型氣敏傳感器工作溫度的降低就必然會導致氣體分子的吸附-脫附速率減慢，工作溫度和傳感器的響應-恢復成了一對矛盾。重點探索和解決傳感器的低溫工作和快速恢復不能同時滿足這一關鍵問題，通過調控敏感材料的微納結構，改進器件性能，提高低溫下金屬氧化物型半導體傳感器的響應率，并降低恢復時間。目的在于實現(xiàn)環(huán)境物質的探測，主要聚焦于氣敏傳感器及折射率傳感器。這兩種探測器的共同點在于都能夠感應到其附近環(huán)境物質的變化。取得的重要進展包括以下兩個方面：1設計并制備了CuO/WO3異質結構，我們發(fā)現(xiàn)n型材料摻入P型CuO納米顆粒，氣敏性能不再依賴于氣敏材料表面的氧負離子的濃度。當溫度降低到60℃，對低濃度的目標氣體仍有超高的響應率，且選擇性好。為了實現(xiàn)傳感器在低溫下的快速恢復，我們調整了傳感器結構，加入脈沖電壓的設計。該文可以推廣到整個金屬氧化物電阻型氣敏傳感器中，是解決該類傳感器件在低溫下恢復慢的有效文。中設計的傳感器對硫化氫氣體探測具體指標如下：在60°C下對4 ppm的目標氣體響應率達到~105,恢復時間從幾個小時縮短到60s左右。2為了解決電學傳感器工作溫度高，測試背景噪聲大，重復穩(wěn)定性差，探測目標限于氣體分子等局限。我們利用光學探測器零響應-恢復時間，零功耗，重復性穩(wěn)定性好的優(yōu)勢，制備了Al/Al2O3/Al法布里珀羅（F-P共振腔結構，研究了光學折射率傳感特性，實現(xiàn)了光學環(huán)境折射率探測器的工作波段在0.2~2m可調。為了改善傳感器對入射角度敏感的問題，對Al/Al2O3/Al的表面結構進行了調整。同時，初步探究了金屬腔局域表面等離子體共振模型，提出了解決折射率傳感器對角度敏感問題的有效文。

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